單晶硅切割圓柱形記錄
尺寸長(zhǎng)*寬*高：
試樣材質(zhì) | 單晶硅 |
試樣描述 | 切割件為圓形形狀，直徑114 mm，厚度20mm |
加工要求 | 切割圓柱形。 |
試樣加工機(jī)器 | JINKE_GKOX3040往復(fù)線金剛線切形機(jī) |
金剛線 | 金剛石線參數(shù)（直徑0.37mm，長(zhǎng)度300m） |
冷卻方式 | 水冷卻液澆注冷卻，一方面對(duì)金剛石線降溫，延遲線的使用壽命，另一方面對(duì)切割面降溫，減小溫度對(duì)試樣的影響。 |
第一刀
第一刀切割要求及數(shù)據(jù)
項(xiàng)目 | 單位 | 數(shù)據(jù) | 備注 |
切割厚度 | mm | 20 | |
切割直徑 | mm | 10 | |
切割周長(zhǎng) | mm | 31.4 | |
切割速度 | mm/s | 0.04 | |
切割速度 | mm/Min | 2.4 | |
清角時(shí)間 | s | 10 | |
金剛線速度 | m/s | 5 | |
金剛線補(bǔ)償 | mm | 0.18 | |
切割時(shí)間 | h | 20分 |
第一刀切割結(jié)果
切割完尺寸：不規(guī)則
第二刀
第二刀切割要求及數(shù)據(jù)
項(xiàng)目 | 單位 | 數(shù)據(jù) | 備注 |
切割厚度 | mm | 20 | |
切割直徑 | mm | 5.2 | |
切割周長(zhǎng) | mm | 16.328 | |
切割速度 | mm/s | 0.02 | |
切割速度 | mm/Min | 1.2 | |
清角時(shí)間 | s | 9 | |
金剛線速度 | m/s | 7 | |
金剛線補(bǔ)償 | mm | 0.18 | |
切割時(shí)間 | h | 23分 |
第二刀切割結(jié)果
切割完尺寸：直徑5.04mm
第三刀
第三刀切割要求及數(shù)據(jù)
項(xiàng)目 | 單位 | 數(shù)據(jù) | 備注 |
切割厚度 | mm | 20 | |
切割直徑 | mm | 10 | |
切割周長(zhǎng) | mm | 31.4 | |
切割速度 | mm/s | 0.02 | |
切割速度 | mm/Min | 1.2 | |
清角時(shí)間 | s | 10 | |
金剛線速度 | m/s | 7 | |
金剛線補(bǔ)償 | mm | 0.18 | |
切割時(shí)間 | h | 31分 |
第三刀切割結(jié)果
切割完尺寸：直徑9.84mm～9.86 mm
第四刀
第四刀切割要求及數(shù)據(jù)
項(xiàng)目 | 單位 | 數(shù)據(jù) | 備注 |
切割厚度 | mm | 20 | |
切割直徑 | mm | 10 | |
切割周長(zhǎng) | mm | 31.4 | |
切割速度 | mm/s | 0.01 | |
切割速度 | mm/Min | 0.6 | |
清角時(shí)間 | s | 10 | |
金剛線速度 | m/s | 7 | |
金剛線補(bǔ)償 | mm | 0.18 | |
切割時(shí)間 | h | 1時(shí)20分 |
第四刀切割結(jié)果
切割完尺寸：直徑9.86mm～ 9.88mm
切割總結(jié)：
單晶硅的硬度和脆度都比較高，切割速度越快線痕越明顯，今天一共切了四個(gè)小樣，分別對(duì)切割速度、清角時(shí)間和金剛石線速進(jìn)行了調(diào)整，由于時(shí)間的關(guān)系，金剛石線補(bǔ)償還沒(méi)做調(diào)整來(lái)切割，由此可以看出，切割的材料硬度高，切割速度、清角時(shí)間、金剛石線速、金剛石線補(bǔ)償都要做一些調(diào)整才能得到一個(gè)滿意的切割參數(shù)。